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薄膜研究是近些年来迅速发展的科学技术领域之一,尤其是原子尺度人工超晶格材料的生长,引起了对凝聚态物理和材料科学研究与应用的极大重视与兴趣。脉冲激光沉积被公认为是应用面最广和最好的制膜方法之一。但普通脉冲激光沉积制备的薄膜,存在表面颗粒,难以精确控制层...
王玉堂.我国第一台激光分子束外延设备和关键技术研究通过专家鉴定和国家基金委验收[J].光电子激光,1998,(4):