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M-Z干涉型集成光学微加速度传感器结构设计
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[cstr]
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TN929.1 TN256

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国家自然科学基金资助项目(40274047)


Structure Design of M-Z Interference MOEMS Accelerometer
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    摘要:

    提出了一种新型的Si基M Z干涉型微光电机械系统(MOEMS)加速度地震检波器。在Si基上集成了Si十字梁、质量块、偏振器、M Z波导干涉仪及声光调制器。给出了该加速度检波器工作原理,对结构进行了分析设计,并用有限元(FEM)分析软件进行了仿真计算。该检波器的主要设计参数为:固有频率1353Hz,相位检测灵敏度1.2×10-4rad/(m·s2)。

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引用本文

吴波,陈才和,张晓玲,崔宇明,张燕君,钟娟娟. M-Z干涉型集成光学微加速度传感器结构设计[J].光电子激光,2004,(11):1263~1266

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