适用于MEMS动态测量的显微激光多普勒技术

Micro Laser Doppler Vibrometer Technology for MEMS Dynamic Measurement

摘要:

介绍了一种利用激光多普勒(LD)技术和显微技术结合的微机电系统(MEMS)器件动态特性测量技术，所搭建的系统测量光斑直径小于1um，测量频率0～20MHz，平面外运动分辨率0．1nm，精度5nm，不确定度1nm描述了利用该系统对TMT(test motion target)器件的振动特性进行的测量实验，并对实验结果进行了分析，测得器件的共振频率为271Hz，最大振幅为0．246482566mm。

Abstract: